真空技术、爪型干式真空泵 pdf 夸克云 tct umd 下载 2025 azw3 kindle

　　本标准由中国机械工业联合会提出。

本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/***18）归口。

本标准主要起草单位：北京朗禾科技有限公、北京朗禾众鑫真空科技有限公司。

本标准主要起草人：徐曦、赵瑜。

本标准为首次发布。

前言

引言

1　范围

2　规范性引用文件

3　术语和定义

4　型式与基本参数

　4.1　型式

　4.2　型号

　4.3　基本参数

5　技术要求

6　抽样及判定方法

　6.1　机样方法　

　6.2　判定方法

7　测量方法

　7.1　测量装置

　7.2　测量条件

　7.3　抽气速率和极限压力的测量

　7.4　消耗功率的测量

　7.5　工作温度的测量

　7.6　噪声的测量　

8　检验规则

9　标志、包装、运输和贮存

图1　爪型干式真空泵工作原理图

图2　测试罩

表1　泵的基本参数

表2　测试罩尺寸

表3　检验项目

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